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项目简讯|厦门某半导体企业有机废气处理项目由我公司中标承建的厦门某半导体企业有机废气处理项目,已经顺利完成建设和调试,于2024年9月正式投入运行。该项目是我司首个半导体行业废气治理项目,由我司全面负责从设计、采购、制造到安装、调试及售后服务等各个环节,确保了整个过程的专业性和高效性。项目的顺利竣工标志着我司在环保技术领域的又一重要突破。
治理工艺 项目废气主要来源于清洗、CVD、光刻、湿法刻蚀、去胶及扩散等工艺。有机废气成分复杂,包含异丙醇、丙酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等,并含有少量高沸点物质和含硅有机物。为了有效应对上述废气问题,本项目采用“高效过滤+沸石转轮吸附+TO”工艺进行治理。本工艺废气处理效率超过95%,同时具有安全性高、运行稳定、运行成本及故障率低、自动化程度高、运行管理方便等优点。 治理效果 2024年9月有机废气净化系统开始切入使用,投入既达满产状态。设备运行稳定,处理效果良好,烟囱出口在线检测系统所测得的非甲烷总烃浓度在5~10mg/m3范围内,满足 《厦门市大气污染物排放标准》 (DB35/323-2018)中表1的排放标准。
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